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ESDを管理する基本的な方法とは?

ESDを管理する基本的な方法は、以下の5つに集約できます。

① 作業者を接地する。

→帯電防止リストストラップを装着する。

② 作業台表面と装置工具等を接地する。

→作業台に制電マットを引いて、アースをとる。

③ 静電気的に危険な材料(静電気発生源)を一掃する。

→ESD対策の工具を使う。

④ 接地による除電が出来ない場合、イオナイザー等で中和する。

→静電気除去装置(イオナイザー)を使う。

⑤ 上記の4つの管理がなされた区域から輸送・保管する場合に 感受性アイテムに保護包装をする

→帯電防止の袋などに入れて保管する。

この基本的管理は、ESD損傷を防ぐ基本的な方法です。

詳細な技術資料はDocument Portalからダウンロードできます。

ESDとは?

帯電に基づいた電位の異なる2つの物体が、直接接触した場合に生じる電荷の移動、または静電気誘導によって、異なる電位をもつ物体間を電荷が移動した場合をESD(静電気放電:electrostatic discharge)と定義します。

ESDは、不良品発生の原因であるとともにシステムにとっては、不測の事態を引き起こす故障の原因となります。帯電した作業者や備品工具等が接地された静電気耐性の低いデバイスに直接接触した場合に生じるデバイス破壊が静電気損傷としては、最も一般的な事例です。